设备简介：
◆ Candela®8420/8400系统服务于光电子、LED、通信和其他化合物半导体市场。改设备采用经典的Candela多通道检测技术和严谨的缺陷分类算法以为客户实现产品良率为目的。Candela®8420/8400技术采用专有的OSA(光学)表面分析器)架构，通过测量散射强度，形貌变化，样品表面反射率和相位计算的方式，用以实现大范围的自动检测和缺陷分类(DOI)；统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸，后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准，可以给出检测样品合格与否的判断。在化合物外延领域拥有很高的市场占有率。
◆ Candela®8420/8400适用于Si晶圆、GaAs、InP, GaN、蓝宝石基片及蓝宝石外延片表面缺陷检测分析，包含微粒、划伤、坑点、污染、痕迹。该设备可以兼容透明片和不透明片。
