技术参数：
P3D光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。P3D的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。
P3D测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 P3D的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。
台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度
纹理：3D粗糙度和波纹度
形式：3D翘曲和形状
边缘滚降：3D边缘轮廓测量
缺陷复检：3D缺陷表面形貌
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