产品简介：
KLA RR50/R54的设计代表了KLA超过45年电阻测量较领先技术地址的之作，自1975年KLA的第一台电阻测量仪问世以来，KLA电阻测试家族产品已经革命性的改变了导电薄膜电阻和厚度的测量方式。电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要，从半导体制造到可穿戴技术所需的柔性电子产品。
KLA RR50/R54的设计代表了KLA超过45年电阻测量较领先技术地址的之作，自1975年KLA的第一台电阻测量仪问世以来，KLA电阻测试家族产品已经革命性的改变了导电薄膜电阻和厚度的测量方式。电阻测量和监控对于任何使用导电薄膜的行业都至关重要，从半导体制造到可穿戴技术所需的柔性电子产品。
金属薄膜膜厚量测和均匀性分析
离子掺杂/注入浓度量测
薄膜厚度和电阻率分布
接触式四点探针（4PP）和接触式电涡流（EC）
100mm Z行程，高精度控制
导体和半导体薄膜电阻，10个数量级范围适用
测试点自定义编辑，包括矩形，线性，极坐标以及自定义配置
200mm XY电动平台，大可支持300mm晶圆
软件灵活易用
兼容KLA所有电阻测试探针
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