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真空固化炉YES/Scientech PI OVEN
产品概述: Yield Engineering Systems, Inc.是全自动真空固化炉设备的制造商,设备广泛用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。销售联系方式:李晖 18918393272。
关于YES:

Yield Engineering Systems, Inc.是全自动真空固化炉设备的制造商,设备广泛用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。

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                          Model:VertaCure XP

主要应用领域:

YES产品可用于高温固化和低温烘烤,半导体后段封装IDM/Foundry,OSATs,OEM,etc。

销售实绩:

在InFO, CoWoS, Copper Pillar, WLCSP和下一代材料和工艺开发的先进封装厂,有超过320台的销售实绩(并在不断增加)。

设备主要特点:

• 全自动真空固化,8寸/12寸兼容

  更低的温度,更低的CoO和更高的产能。

• 低PPM氧气水平,在亚大气压下实现真空固化。

• 缩短了固化时间,降低了资金成本,提高了60%的生产能力。

• 工艺腔体内优异的水平层流设计,改善particle,节约N₂消耗量。更低的CoO。

• 高于95%的设备稼动率。

• 温度控制均匀度为1.0%,提高晶圆温度均匀性。

• 快速的加热和冷却性能,已证明可减少35%的固化时间。

• 所有接触加工的材料均为316L不锈钢或钛

• EFEM,4LPs 2PM, 200/300mm system。

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