OAI紫外线照度计659型：
659型是一款先进的紫外线曝光分析仪，专门设计用于所有步进式光刻机，包括高强度步进式光刻机。该仪表平均可达到400个曝光读数，具有以太网和USB接口，用于下载记录测量的数据，并且强度范围可高达7500MW/cm2。探头的波长为365nm、400nm、420nm和436nm。
1.仪表规格
用户界面：触摸屏
计算机接口：可选以太网和USB下载记录测量的数据
电源：电池采用可充电的3.7V锂离子电池并有充电保护
充电器电源：100-240 VAC
显示设置：2个屏幕
1设置屏幕-以太网地址、日期和时间
2运行屏幕–波长、强度、时间、剂量、探头温度，探头类型，偏差百分比，串行编号、校准到期日、电池状态、探针序列号和充电器状态。
内存存储：多400个读数
强度范围：高达7500MW/cm2
强度分辨率：0.01mW/cm2
剂量范围：高达1000 J/cm3
剂量分辨率：0.01mJ/cm3
时间范围：长9999秒
时间分辨率：0.0001秒
小剂量暴露25m秒
尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸
重量：3.5磅
工作环境温度：15–40度
符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）
2.探头规格
选项：非补偿温度探头
探头检测器：硅光电二极管
可用波长（nm）365、400、420、436
过滤器：多层吸收/介质
强度范围：7500MW/cm2
合规性：ROHS2和CE（EMC和安全）
